书目详细信息
： 微电子材料与器件制备技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-02445-9:CNY39 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 题名责任者项： | 微电子材料与器件制备技术/.王秀峰，伍媛婷编 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2008 |
| 载体形态项： | 225页:;+26开 |
| 提要文摘： | 本书以微电子材料对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 王秀峰，伍媛婷编 著 |
| 记录来源： | CN 20110610 |