书目详细信息
： 硅微机械加工技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5025-9258-5:58 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 题名责任者项： | 硅微机械加工技术/.(法)M.埃尔温斯波克(M. Elwenspoek)，(捷)H.扬森(H. Jansen)著/.姜岩峰译 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2007 |
| 载体形态项： | 348页:;+26开 |
| 一般附注： | 国外优秀科技著作出版专项基金资助 |
| 提要文摘： | 本书内容包括：硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述、硅的表面微机械加工技术、LIGA工艺、硅-硅直接键合工艺等。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | (法)M.埃尔温斯波克(M. Elwenspoek)，(捷)H.扬森(H. Jansen)著 著 |
| 记录来源： | CN 20110610 |