书目详细信息
： 硅超大规模集成电路工艺技术:英文版
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5053-8638-7:75 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 题名责任者项： | 硅超大规模集成电路工艺技术/.(美)James D.Plummer等著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,200304 |
| 载体形态项： | 18，817:;+图:;+23cm |
| 一般附注： | 国外电子与通信教材系列 |
| 提要文摘： | 本书详细介绍了与硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，以及这些工艺技术背后的科学原理。 |
| 题名主题： | 硅-超大规模集成电路-技术 |
| 中图分类： | TN47 |
| 记录来源： | CN 20110608 |