书目详细信息
： 微细加工技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5025-6077-7:35 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 题名责任者项： | 微细加工技术/.刘明， 谢常青， 王丛舜等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2004.10 |
| 载体形态项： | 177页:;+26CM |
| 丛编项： | 现代加工技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书从微细加工技术的基础知识讲起，较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。 |
| 题名主题： | 特种加工-技术 |
| 中图分类： | TG66 |
| 个人名称等同： | 刘明， 谢常青， 王丛舜等编著 著 |
| 记录来源： | CN 20110610 |