书目详细信息
： 微电子机械系统力学性能及尺寸效应
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-25575-8:CNY30 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 题名责任者项： | 微电子机械系统力学性能及尺寸效应/.刘凯，韩光平著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 209页:;+21开 |
| 提要文摘： | 本书共分9章，分析了MEMS的特征及其近期发展；详细分析了尺寸效应的内涵；建立尺寸效应泛函的分析模型；研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 刘凯，韩光平著 著 |
| 记录来源： | CN 20110610 |