书目详细信息
： 微机电系统工程基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-312-02468-9:CNY38.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 340000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统工程基础/.王琪民, 刘明侯, 秦丰华编著 |
| 出版发行项： | 合肥:,中国科学技术大学出版社:,2010.01 |
| 载体形态项： | x, 370页, [2] 页图版:;+图 (部分彩图):;+23cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 |
| 提要文摘： | 本书共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和尺度传热的基础知识等。 |
| 题名主题： | 微电机 系统工程 高等学校 教材 |
| 题名主题： | 机电系统 微型机械 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TM38-43 |
| 个人名称等同： | 王琪民 编著 |
| 个人名称等同： | 刘明侯 编著 |
| 个人名称等同： | 秦丰华 编著 |
| 记录来源： | CN HNDDDT 20110930 |